超分辨率光刻的另一条出路：掩膜版成本降到十分之一 2026-07-30 芯片算力 0 评 一个已实现商业化的场景在关于国产光刻突破的讨论中，有一条路径常被忽略：超分辨直写光刻。据公开资料，中科院上海光机所联合…