上海芯上微装 350nm 步进投影光刻机通过验证并获批量订单 2026-08-15 芯片算力 0 评 一条不那么显眼、但很实在的进展据公开报道，2026 年，上海芯上微装科技股份有限公司自主研发的 350nm 步进投影光刻机通过客户…